感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282300
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127695
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】密着性に優れ、高解像度のパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】特定構造のポリアミド酸エステル、エポキシ基を有するシランカップリング剤と芳香族ジアミンとの反応物である有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、【化1】(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、【化2】(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 504 , G03F 7/038 501 , C08K 5/54 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/32

FI (5件)：

G03F 7/038 504 , G03F 7/038 501 , C08K 5/54 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/32

引用特許：

審査官引用 (5件)

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