シリコンの異方性エッチング液およびシリコンの異方性エッチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056400
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246254
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】補償パターンを有するエッチングマスクを用いることなく、角落ちの生じない高精度のパターン形成が可能なシリコンの異方性エッチング液を提供するものである。【解決手段】アルカリ水溶液に界面活性剤を添加したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：