特許
J-GLOBAL ID：200903071388605650

基板圧着装置、圧着制御方法及び液晶装置の製造方法

発明者：
本田 賢一

本田 賢一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161304
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347198
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 液晶装置の基板面内における加圧むらが生じるのを抑制でき基板圧着装置を提供する。【解決手段】 粗加圧を行なう第1バルーン14と精密加圧を行なう精密加圧部16と圧力分布検出シート17と圧力制御部18とを備える。対をなす重ねられたガラス基板22、23を第1バルーン14を駆動して所定圧力で押圧し、このときの圧力分布の検出結果から基板面の部分毎の圧力調整を行なって、圧力を面内で均一にした。このため、基板どうしは、均一な圧力で押圧されるため、セルギャップが均一な液晶装置を得ることができる。これによって、液晶装置の光学特性を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
シール材を介して相対向するように重ねられた、対をなす基板を両面側から挟んで該基板どうしを圧着させる基板圧着装置であって、前記対をなす基板を所定の圧力で押圧する第1加圧手段と、前記対をなす基板を押圧する領域内で部分毎に任意の圧力で押圧が可能な第2加圧手段と、前記第1加圧手段で押圧された前記対をなす基板の面内圧力分布を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段での検出情報に基づいて前記第2加圧手段を駆動制御する圧力制御手段と、を備えることを特徴とする基板圧着装置。
Fターム (5件)：
2H089KA01 ,  2H089NA24 ,  2H089NA48 ,  2H089NA60 ,  2H089QA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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