基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-173696
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022243
出願日： 1996年07月03日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】基板の撓みによる破損を防止すると共に、基板表面の乾燥ムラを防止してパーティクルの発生を抑える。【解決手段】基板支持部材10,10で支持する角形基板11の側端縁の基板支持面より下面位置で、基板支持部材18,18により角形基板11の他の側端縁を支持し、基板支持部材10,10で支持する角形基板11の両側端縁側に沿って処理液供給部材20,20をそれぞれ配設しているため、撓みにより角形基板11内部に元に戻そうとする応力が働くことで、角形基板11の搬送や処理液供給によって基板反り状態に変化が起こりにくいことから、処理液が供給される基板表面の傾斜面状態がより安定し、基板表面の側端縁側から中央部にかけて均一に処理液が流れることになって、基板表面全面に満遍なく均一な処理液の供給をすることができる。

請求項（抜粋）：

基板の端縁を基板支持部材で支持して搬送する基板搬送装置において、前記基板支持部材は、前記基板の対向する2辺の側端縁にそれぞれ当接して支持する第1支持部材と、前記側端縁と直交する2辺の側端縁に、前記第1支持部材による当接高さ位置に対して異なる所定の高さ位置でそれぞれ当接して支持する第2支持部材とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 , B25J 15/08 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/304 341 C , B25J 15/08 K , G02F 1/1333 500 , H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

ガラス板の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152372 出願人：セントラル硝子株式会社
回転式基板乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199104 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (2件)

ガラス板の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152372 出願人：セントラル硝子株式会社
回転式基板乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199104 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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