特許
J-GLOBAL ID：200903071443708472

電気回路基板及びこれを用いたTFTアレイ基板及び液晶表示装置

発明者：
小川 一文

小川 一文 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274114
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147651
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】液晶表示パネルにおいて使用されるTFTアレイ基板の製造において、マスク枚数を低減し、すなわち製造工程を簡略化し製造コストを低減したTFTアレイ基板を提供する。【解決手段】 基板101表面に、ゲート配線金属膜とゲート絶縁膜と半導体膜とコンタクト電極金属膜106を形成し、フォトリソ法でコンタクト電極金属膜と半導体膜とゲート絶縁膜とゲート配線金属膜とを第1のパターンで順次エッチングし、ゲート配線及びゲート電極となる部分のゲート配線金属膜パターンの側面を酸化し、透明導電性膜を形成し、フォトリソ法で透明導電性膜とコンタクト電極金属膜と半導体膜の一部を第2のパターンで順次エッチングする。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上の同一平面内に同一の導電性金属膜よりそれぞれ形成された、X配線と、前記X配線と交差し交差部分が前記X配線により切断されX配線と離隔されたY断続配線と、を有し、前記X配線の側面および上面が、絶縁性膜で覆われ、前記絶縁性膜で覆われたX配線により切断され離隔されたY断続配線同士が、前記絶縁性膜上に形成されたY断続配線接続電極により電気的に接続されている、ことを特徴とする電気回路基板。
IPC (5件)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (5件)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 616 L
引用特許：
審査官引用 (14件)
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