加工製品の作業管理方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227483
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055417
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】加工処理された製品の測定部への搬送を不要にするとともに、測定データの入力作業を大幅に低減。【解決手段】加工装置12による製品ロットA〜C及びモニタロットDの加工作業終了後に測定装置14によるモニタロットDの測定データの入力が必要な場合、加工用作業案内システム端末13にて製品ロットA〜Cのロット情報をサンプルフロッピーディスク21に書き込み、このサンプルフロッピーディスク21とモニタロットDのみを測定装置14に運搬し、サンプルフロッピーディスク21のロット情報を測定用作業案内システム端末15にてホストコンピュータ11に取り込んでモニタロット測定データと各製品ロットA〜Cとのひも付けを行った後、モニタロットDの測定データを測定用作業案内システム端末15から入力して各製品ロットA〜C毎にそれぞれのデータファイルに自動的に書き込む。

請求項（抜粋）：

複数の製品ロットとダミーのモニタロットを同一にバッチ処理する加工装置と、前記加工装置でバッチ処理されたモニタロットの加工状態を測定する測定装置と、前記測定データに基づいて製品ロットの良否及び前記加工装置の処理傾向を分析するとともに前記製品ロットの進捗を管理するホストコンピュータと、前記加工装置に付随して前記ホストコンピュータに接続され、前記加工装置の加工作業の開始、終了を前記ホストコンピュータに通知するとともに該通知を受けることにより前記ホストコンピュータから指令される製品ロットの加工に関する作業指令情報を受信して表示する加工用作業案内システム端末と、前記測定装置に付随して前記ホストコンピュータに接続され、前記測定装置の測定作業の開始、終了を前記ホストコンピュータに通知するとともに該通知を受けることにより前記ホストコンピュータから指令される製品ロットの測定に関する作業指令情報を受信して表示する測定用作業案内システム端末とを有する加工製品の作業管理方法であって、前記加工用作業案内システム端末から入力された同一バッチ処理組の製品ロットを表わすロット情報を前記加工装置での製品ロット及びモニタロットのバッチ処理終了後に前記測定用作業案内システム端末に伝達する工程と、前記加工装置での製品ロット及びモニタロットのバッチ処理の終了に伴い前記加工用作業案内システム端末に表示される測定装置への案内メッセージに従いモニタロットのみを前記測定装置に搬送してモニタロットの加工状態を測定する工程と、前記測定用作業案内システム端末に伝達された同一バッチ処理組の製品ロット情報に基づいて前記モニタロット測定データの前記同一バッチ処理組製品ロットへのひも付けを行い、前記ホストコンピュータに前記モニタロットの測定開始を指令する工程と、前記測定装置で測定されたモニタロットの測定データを前記ホストコンピュータに一回入力することで該測定データを前記前記同一バッチ処理組の各製品ロットのデータファイルに自動的に書き込む工程と、を備えたことを特徴とする加工品の作業管理方法。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G06F 17/60 , G06F 17/40 , H01L 21/02 , B23Q 41/00

FI (5件)：

H01L 21/66 Z , H01L 21/02 Z , B23Q 41/00 E , G06F 15/21 R , G06F 15/74 310 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-147600
特開平3-272125
特開平4-063440

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