特許

J-GLOBAL ID：200903071447698633

スパッタ用メタルマスクおよび該メタルマスクにより製造されたカラーフィルタ

発明者： 宍戸 彰 ,  山田 篤利
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332568
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152331
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】異常放電によるカラーパターンへの絶縁破壊の発生を防止する。【解決手段】ガラス基板9に形成されたカラーパターン10に対応する開口部8aを有し、該開口周縁8c内側にガラス基板に対向して間隙部11が形成されたメタルマスク8において、前記間隙部11のメタルマスク側に、カラーパターンの外周に形成されたクロムブラック遮光層10bに電気的に接触される導通部12を設けた構成。

請求項（抜粋）：

ガラス基板に形成されたカラーパターンに対応する開口部を有し、該開口周縁内側にガラス基板に対向して間隙部が形成されたメタルマスクにおいて、前記間隙部のメタルマスク側に、カラーパターンの外周に形成されたクロムブラック遮光層に電気的に接触される導通部を設けたことを特徴とするスパッタ用メタルマスク。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/04 ,  G02B 5/20 101

FI (4件)：

C23C 14/34 T ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/04 A ,  G02B 5/20 101

Fターム (9件)：

2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BB44 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 透明導電層用マスク及びカラーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-341228   出願人：大日本印刷株式会社
• スパッタ成膜方法とスパッタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-191687   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭62-010265