透明導電層用マスク及びカラーフィルタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白井博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-183330
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】カラーパターン周辺部へのキズ付きを防止する。【解決手段】カラーパターン10の表面にマスク8を用いて選択的に所定の部分のみに透明導電層パターンを成膜する方法において、前記マスクは、成膜する透明導電層パターンの境界部近傍においてカラーパターンに密着しない部分8bを有する。

請求項（抜粋）：

カラーパターンの表面にマスクを用いて選択的に所定の部分のみに透明導電層パターンを成膜する方法において、前記マスクは、成膜する透明導電層パターンの境界部近傍においてカラーパターンに密着しない部分を有することを特徴とする透明導電層用マスク。

IPC (2件)：

C23C 14/04 , G02B 5/20 101

FI (2件)：

C23C 14/04 A , G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (8件)

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