特許
J-GLOBAL ID：200903071455116198

耐プラズマ性部材の製造方法

発明者：
市島 雅彦

市島 雅彦 について

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宮崎 晃

宮崎 晃 について

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山本 勝弘

山本 勝弘 について

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露木 龍也

露木 龍也 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368478
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166043
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 プラズマに対する耐食性の向上を図り、半導体または液晶製造のためのドライプラセス装置に用いられるチャンバー、チャンバーライナー、シャワープレート、バッフル板、電極等の部材に好適に用いることができる耐プラズマ性部材の製造方法を提供する。【解決手段】 アルミニウムまたはステンレスからなる基材表面に、爆発溶射法により、YAG膜が形成される工程を含み、前記YAG膜の表面には、さらに、プラズマ溶射法により、イットリア膜が形成されることを特徴とする耐プラズマ性部材の製造方法を用いる。
請求項（抜粋）：
アルミニウムまたはステンレスからなる基材表面に、爆発溶射法により、YAG膜が形成される工程を含むことを特徴とする耐プラズマ性部材の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/34
FI (4件)：
C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/34 ,  H01L 21/302 B
Fターム (15件)：
4K031AA04 ,  4K031AB02 ,  4K031AB08 ,  4K031BA03 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031CB50 ,  4K031DA04 ,  5F004DA00 ,  5F045AA08 ,  5F045AC02 ,  5F045AC03 ,  5F045AE01 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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