特許
J-GLOBAL ID：200903071461752560
走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-085770
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281655
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 走査プローブ顕微鏡の探針を試料の任意の位置に、任意の時間間隔だけ固定するための方法を提供する。【解決手段】 探針の微動機構に与える駆動信号を制御して探針を試料における所望の位置に移動し、この位置を含む顕微鏡像を得るステップと、前記顕微鏡像を得た後、再び探針を前記位置に移動した後、所定の時間間隔だけ前記駆動信号を保持するステップと、前記時間間隔の経過後、他の顕微鏡像を得て、前記顕微鏡像との比較に基づいて前記時間間隔中に生じたドリフト量を計算するステップと、前記ドリフト量を補償するように前記駆動信号を制御し、前記探針を前記位置に移動するステップとを具え、前記顕微鏡像を得た後のステップを繰り返す。
請求項（抜粋）：
走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法において、探針の微動機構に与える駆動信号を制御して探針を試料における所望の位置に移動し、この位置を含む顕微鏡像を得るステップと、前記顕微鏡像を得た後、再び探針を前記位置に移動した後、所定の時間間隔だけ前記駆動信号を保持するステップと、前記時間間隔の経過後、他の顕微鏡像を得て、前記顕微鏡像との比較に基づいて前記時間間隔中に生じたドリフト量を計算するステップと、前記ドリフト量を補償するように前記駆動信号を制御し、前記探針を前記位置に移動するステップとを具え、前記顕微鏡像を得た後のステップを繰り返すことを特徴とする探針位置固定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 C
, G01B 7/34 Z
