感光性ペースト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211291
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053433
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供することができる。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とアミン化合物を含有する化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。

請求項（抜粋）：

アミン化合物、感光性有機成分、無機微粒子を必須成分とする感光性ペースト。

IPC (6件)：

C03C 3/064 , C03C 3/091 , C23C 30/00 , G03F 7/004 501 , H01J 9/02 , H01J 17/16

FI (6件)：

C03C 3/064 , C03C 3/091 , C23C 30/00 C , G03F 7/004 501 , H01J 9/02 F , H01J 17/16

引用特許：

審査官引用 (6件)

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