特許
J-GLOBAL ID:200903056671374712

感光性ペースト組成物及び絶縁パターン層の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 服部 平八
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-055318
公開番号(公開出願番号):特開平9-230587
出願日: 1996年02月20日
公開日(公表日): 1997年09月05日
要約:
【要約】【課題】分散性、塗膜性及び長期保存安定性の優れた感光性ペースト組成物及びそれを用いた絶縁パターン層の形成方法を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物、及び(f)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性ペースト組成物、及び前記感光性ペースト組成物を回路等を形成した基板に塗布し、露光、焼成して絶縁パターン層を形成する方法。
請求項(抜粋):
(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物、及び(f)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性ペースト組成物。
IPC (6件):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/46
FI (6件):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 D ,  H05K 3/46 T
引用特許:
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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