照明装置及び露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-289386
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148414
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】従来よりも照明強度が高く、しかも作製が容易な照明装置、及び該照明装置を備えたスループットの高い露光装置を提供すること。【構成】少なくとも、励起エネルギー光5を発生して標的部材2上の複数箇所に照射する励起エネルギー光発生部1と、該励起エネルギー光5の照射を複数箇所で受けることにより、複数のX線源6が形成される標的部材2と、該複数のX線源6からのX線7を被照明物4に照射する照明光学系3と、からなる照明装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、励起エネルギー光を発生して標的部材上の複数箇所に照射する励起エネルギー光発生部と、該励起エネルギー光の照射を複数箇所で受けることにより、複数のX線源が形成される標的部材と、該複数のX線源からのX線を被照明物に照射する照明光学系と、を備えた照明装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 502 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 531 S , H01L 21/30 531 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

X線反射用光学素子およびそれを有するX線光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021577 出願人：株式会社ニコン
特開昭52-117561
特開昭62-126532

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