マイクロレンズ変位を伴うマイクロ光学コンポーネントおよびオプトメカニカル・マイクロ偏向子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115115
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313830
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【課題】光学系の集積化を可能とする基本的なマイクロ光学コンポーネントを提案する。【解決手段】焦軸を有するマイクロレンズ84と、このマイクロレンズが固定されるマイクロ梁82とを有し、マイクロ梁82は、マイクロレンズ84の焦軸に対して本質的に垂直な軸に沿ってのび、マイクロレンズの焦軸、および、マイクロ梁がのびる軸に対して本質的に垂直な軸に沿って弾性変形可能であるマイクロ光学コンポーネントである。オプトメカニカル・マイクロ偏向子、特に、マイクロレーザを有するものに適用できる。

請求項（抜粋）：

焦軸を有するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが固定されるマイクロ梁とを具備し、前記マイクロ梁は、前記マイクロレンズの焦軸に対して本質的に垂直な軸に沿ってのび、前記マイクロレンズの焦軸、および、前記マイクロ梁がのびる軸に対して本質的に垂直な軸に沿って弾性変形可能であるマイクロ光学コンポーネント。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭52-012847
特開平3-058014
ライトバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-273184 出願人：キヤノン株式会社

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