特許

J-GLOBAL ID：200903071587184028

ウェット処理装置

発明者： 冨山 憲世
出願人/特許権者： 株式会社フューチャービジョン
代理人 (1件)： 小野寺 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-276505
公開番号（公開出願番号）：特開2006-088033
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】 超音波を用いることなく、高粘度流体の吸い込みも容易で、残渣の取り残しをなくした洗浄ノズルを備えたウェット処理装置を提供する。【解決手段】 被洗浄物8の表面に近接して配設され、外部から供給される洗浄用流体9を被洗浄物8の表面に帯状に吐出するためのスリット状の吐出口10を有する供給口2と、吐出口10から吐出された洗浄用流体9を排出する排出口3を有する洗浄ユニット11を備え、吐出口10の断面積が外部から供給される洗浄用流体9の供給口受け口部の開口断面積に対し、洗浄用流体9を被洗浄物8の表面に向けて吐出するための先端部が1を越える正数分の1倍の開口断面積を有してなる洗浄ユニットを被洗浄物8の移動方向に対して直交する方向に配置した。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に近接して配設され、外部から供給される洗浄用流体を前記被洗浄物の表面に帯状に吐出するためのスリット状の吐出口を有する供給口と、前記吐出口から吐出された前記洗浄用流体を排出する排出口を有する洗浄ユニットを備えたウェット処理装置であって、 前記吐出口の断面積が、外部から供給される前記洗浄用流体の供給口受け口部の開口断面積に対し、前記洗浄用流体を前記被洗浄物の表面に向けて吐出するための先端部が1を越える正数分の1倍の開口断面積を有してなる洗浄ユニットを前記被洗浄物の移動方向に対して直交する方向に配置したことを特徴とするウェット処理装置。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  B05C 5/02 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B08B3/02 A ,  B05C5/02 ,  H01L21/304 643C ,  H01L21/304 648G ,  H01L21/304 648K

Fターム (18件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB62 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB96 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA12 ,  4F041CA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエット処理用ノズルおよびウエット処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-079775   出願人：アルプス電気株式会社

審査官引用 (4件)

• 洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、省液型の液体供給ノズル装置及びウエット処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-338695   出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック, オルガノ株式会社
• 特開平3-259523
  
• 基板処理装置および基板処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-013594   出願人：シャープ株式会社
• 特開平3-259523