特許
J-GLOBAL ID：200903071612433011
検査レシピ作成システム、欠陥レビューシステム、検査レシピ作成方法及び欠陥レビュー方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-070447
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281681
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】致命欠陥を早期に発見して製品の歩留り向上に寄与する検査レシピ作成システム及び方法、欠陥レビューシステム及び方法を提供する。【解決手段】検査対象を選択する検査対象選択部と、検査対象における欠陥サイズ毎のクリティカルエリアを抽出するクリティカルエリア抽出部と、検査対象内で検出することが予測される欠陥サイズ毎の欠陥密度を抽出する欠陥密度予測部と、欠陥サイズ毎のクリティカルエリア及び欠陥サイズ毎の欠陥密度に基づいて欠陥サイズ毎の致命欠陥数を計算する致命欠陥計算部と、欠陥サイズ毎の致命欠陥数及び欠陥サイズ毎の欠陥検出率を定める検査レシピ候補に基づいて、検出することが期待される致命欠陥数を複数の検査レシピ候補についてそれぞれ計算する検出期待値計算部とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象を選択する検査対象選択部と、
前記検査対象における欠陥サイズ毎のクリティカルエリアを抽出するクリティカルエリア抽出部と、
前記検査対象内で検出することが予測される欠陥サイズ毎の欠陥密度を抽出する欠陥密度予測部と、
前記欠陥サイズ毎のクリティカルエリア及び前記欠陥サイズ毎の欠陥密度に基づいて、欠陥サイズ毎の致命欠陥数を計算する致命欠陥計算部と、
前記欠陥サイズ毎の致命欠陥数及び欠陥サイズ毎の欠陥検出率を定める検査レシピ候補に基づいて、検出することが期待される致命欠陥数を複数の前記検査レシピ候補についてそれぞれ計算する検出期待値計算部
とを具備することを特徴とする検査レシピ作成システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 Z
, H01L21/66 J
, H01L21/02 Z
4M106AA01
, 4M106AA07
, 4M106CA39
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ38
