特許

J-GLOBAL ID：200903071639976416

圧電ダイヤフラムポンプとその製造方法

発明者： 正木 康史 ,  田中 健一郎 ,  谷 道彦
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-173568
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】【課題】 流路の密閉性を確保することができる圧電ダイヤフラムポンプを提供する。【解決手段】 圧電素子からなるダイヤフラムと、吸入側流路2aと吐出側流路2bよりなる流路2が間に形成された上下の筐体5a,5bと、上下の筐体5a,5b間にメンブレンバルブ7を介装して形成された吸入弁及び吐出弁と、ダイヤフラムと一方の筐体5aとの間に形成されるポンプ室とを備え、ダイヤフラムの屈曲運動により流体が吸入側流路2aからポンプ室を経て吐出側流路2bへ吐出されるように構成された圧電ダイヤフラムポンプである。そして上下の筐体5a,5bのいずれか一方に上記流路2に沿ってOリング12を配置すると共にOリング12を介装した状態で上下の筐体5a,5bを締結した。

請求項（抜粋）：

圧電素子からなるダイヤフラムと、吸入側流路と吐出側流路よりなる流路が間に形成された上下の筐体と、上下の筐体間にメンブレンバルブを介装して形成された吸入弁及び吐出弁と、ダイヤフラムと一方の筐体との間に形成されるポンプ室とを備え、ダイヤフラムの屈曲運動により流体が吸入側流路からポンプ室を経て吐出側流路へ吐出されるように構成された圧電ダイヤフラムポンプであって、上下の筐体のいずれか一方に上記流路に沿ってOリングを配置すると共にOリングを介装した状態で上下の筐体を締結して成ることを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプ。

IPC (2件)：

F04B 43/04 ,  F04B 43/02

FI (2件)：

F04B 43/04 B ,  F04B 43/02 A

Fターム (8件)：

3H077AA01 ,  3H077AA11 ,  3H077CC02 ,  3H077DD06 ,  3H077EE26 ,  3H077FF07 ,  3H077FF08 ,  3H077FF36

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭61-171891
  
• 圧電ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-016488   出願人：化成オプトニクス株式会社
• マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-150306   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電ダイヤフラムポンプの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-294042   出願人：松下電工株式会社