特許

J-GLOBAL ID：200903071653374054

合成石英ガラスおよびその製造方法

発明者： 小峯 典男 ,  藤原 誠志 ,  守屋 明子 ,  神保 宏樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209134
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 構造欠陥の発生が抑制され、かつ構造の安定した合成石英ガラスおよびその製造方法。【解決手段】 火炎加水分解法により得られた、OH基濃度が500ppm以上1300ppm以下で、且つ水素分子濃度が1×1016分子/cm3 以上の石英ガラス部材19を、この石英ガラス部材の構造が緩和される温度で保持する構造緩和工程と、構造が緩和された石英ガラス部材を、10°C/時間以下の降温速度で第1の温度まで降温させる工程と、第1の温度まで降温された石英ガラス部材を、1°C/時間以下の降温速度で第2の温度まで降温させる工程と、第2の温度まで降温された石英ガラス部材を、10°C/時間以下の降温速度で第3の温度まで降温させる工程とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

火炎加水分解法により得られた、OH基濃度が500ppm以上1300ppm以下で、且つ水素分子濃度が1×1016分子/cm3 以上の石英ガラス部材を、該石英ガラス部材の構造が緩和される温度で保持する構造緩和工程と、構造が緩和された石英ガラス部材を、10°C/時間以下の降温速度で第1の温度まで降温させる工程と、前記第1の温度まで降温された石英ガラス部材を、1°C/時間以下の降温速度で第2の温度まで降温させる工程と、前記第2の温度まで降温された石英ガラス部材を、10°C/時間以下の降温速度で第3の温度まで降温させる工程とを含んでいることを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04

FI (3件)：

C03B 20/00 E ,  C03B 20/00 G ,  C03B 8/04 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 石英ガラス、それを含む光学部材、並びにその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-000809   出願人：株式会社ニコン
• 光リソグラフィ-用石英ガラス、それを含む光学部材、 それを用いた露光装置、並びにその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-000808   出願人：株式会社ニコン