特許
J-GLOBAL ID：200903071815822226

変形可能ミラー及びその製造方法

発明者：
石井 ▲頼▼成

石井 ▲頼▼成 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157147
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007649
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】制御が容易であって、環境温度の影響を受け難く、高精度にミラー面を変形させ保持することが可能であると共に、小型で簡単な構造で、安価に製造可能な変形可能ミラーを提供する。【解決手段】入射光を反射する反射面を有する可撓性部材2と、可撓性部材の裏面に対向して配置され、可撓性部材2の外周縁部に密着して、これを支持し、可撓性部材2の弾性変形を許容する空間を形成する凹凸面3を持つ参照面基板6と、この参照面基板6との間に、可撓性部材2を挟み込むシリコン基板50とを備え、可撓性部材2を凹凸面3に吸い寄せて、この可撓性部材2を変形させる変形可能ミラーにおいて、参照面基板6の開口部53を八角形に形成している。
請求項（抜粋）：
入射光を反射する反射面を表面に有する可撓性部材と、可撓性部材の外周部を縁取る支持枠と、この支持枠の内側で、この可撓性部材の弾性変形を許容する空間を形成する曲面部とを備え、支持枠内側の開口部を八角形に形成し、この開口部の領域で、可撓性部材の反射面を平面に保持し、この開口部の領域で、可撓性部材を曲面部に吸い寄せて、この可撓性部材を弾性変形させ、このときに該可撓性部材の反射面への入射光に予め定められた収差を与える変形可能ミラー。
IPC (2件)：
G11B 7/135 ,  G11B 7/22
FI (2件)：
G11B 7/135 A ,  G11B 7/22
引用特許：
審査官引用 (4件)
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