特許
J-GLOBAL ID:200903071818028717

ダイヤモンド研磨粒子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 竹内 澄夫 ,  堀 明▲ひこ▼
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-366851
公開番号(公開出願番号):特開2005-131711
出願日: 2003年10月28日
公開日(公表日): 2005年05月26日
要約:
【課題】磁気ハードディスク基板の表面に、異常突起を形成せずに、ライン密度40本/μm以上のテクスチャ条痕を明確且つ均一に形成できるダイヤモンド研磨粒子及びその製造方法を提供することである。【解決手段】衝撃法により生成される人工ダイヤモンドからなるダイヤモンド研磨粒子。人工ダイヤモンドの密度が3.0〜3.35g/cm3の範囲、好ましくは3.2〜3.35g/cm3の範囲にあり、人工ダイヤモンドの二次粒子の平均粒径が30nm〜500nmの範囲にある。人工ダイヤモンドの一次粒子の平均粒径が20nm以下の範囲にある。テクスチャ加工は、回転する磁気ハードディスク基板10の表面に、水又は水ベースの水溶液中にダイヤモンド研磨粒子を分散した研磨スラリーを供給し、その上に、コンタクトローラ11を介して研磨テープ13を送り出しながら押し付けて行われる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
衝撃法により生成される人工ダイヤモンドから成るダイヤモンド研磨粒子であって、 前記人工ダイヤモンドの密度が3.0〜3.35g/cm3の範囲にあり、 前記人工ダイヤモンドの二次粒子の平均粒径が30nm〜500nmにある、ところのダイヤモンド研磨粒子。
IPC (3件):
B24B37/00 ,  C01B31/06 ,  C09K3/14
FI (3件):
B24B37/00 H ,  C01B31/06 B ,  C09K3/14 550F
Fターム (20件):
3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4G146AA04 ,  4G146AB01 ,  4G146AC02A ,  4G146AC02B ,  4G146AC22A ,  4G146AC22B ,  4G146BA01 ,  4G146BA02 ,  4G146BC12 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146CA02 ,  4G146CA03 ,  4G146CA16 ,  4G146CB09
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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