エッチング液の濃度管理方法及びエッチング装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：柏谷昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129588
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】燐酸エッチング液の濃度管理方法及びエッチング装置に関し、燐酸等のエッチング液のエッチングレートリアルタイムで測定し、それによって、製品不良の発生を低減する。【解決手段】エッチング工程におけるエッチング液12の電気伝導度を電気伝導度測定装置13で同時的に測定し、測定結果に応じてエッチング液12に純水を注入して、濃度を制御する。

請求項（抜粋）：