特許
J-GLOBAL ID：200903071861267180

圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置

発明者：
菅原 宏人

菅原 宏人 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-328426
公開番号（公開出願番号）：特開2006-166695
出願日： 2005年11月14日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】圧電層と配線部材との接合の際に、圧電層の破損及び接続不良が生じない信頼性の高い圧電アクチュエータを提供すること。 【解決手段】圧電アクチュエータ32は、圧力室44が形成されたキャビティプレート40(支持部材)と、キャビティプレート40の接合部40aに接合された振動板60と、振動板60の上面に形成された圧電層61と、圧電層61の上面に設けられたFPC65とを有する。圧電層61の上面に形成された電極62の接点部62aとFPC65の端子部65aとが、端子部65aの表面に形成されたバンプ66を介して電気的に接合されている。キャビティプレート40の上面のうち、バンプ66に対向する領域には、凹部60aが形成されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
振動板と、 この振動板の変形を逃す逃し部と前記振動板に接合される接合部とを有する支持部材と、 前記振動板の前記支持部材と反対側の面に配置された第1の電極と、 この第1の電極の前記振動板と反対側の面に配置された圧電層と、 この圧電層の前記振動板と反対側の面において、前記逃し部と対向する領域に配置された第2の電極と、 前記圧電層の前記振動板と反対側の面において、前記接合部と対向する領域に形成され、且つ、前記第2の電極に接続された接点部と、 この接点部に駆動電圧を供給する配線部材とを備え、 前記接点部と前記配線部材の端子部の一方に、他方側へ突出して前記接点部と前記端子部とを電気的に接続する導電性のバンプが形成され、 前記振動板と前記支持部材との間、又は、前記振動板と前記圧電層との間で、且つ、前記バンプと対向する部分に、それ以外の部分よりも剛性が低下した剛性低下部が設けられている圧電アクチュエータ。
IPC (7件)：
H02N 2/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (8件)：
H02N2/00 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (16件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG33 ,  2C057AG44 ,  2C057AG53 ,  2C057AG84 ,  2C057AG93 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AR14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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