ガス溶解洗浄水供給配管

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-125921
公開番号（公開出願番号）：特開平11-319743
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】電子材料のウェット洗浄工程において、酸化性ガス又は還元性ガスを溶解した洗浄水を長距離移送しても、ユースポイントにガス濃度のほぼ一定した洗浄水を供給することができ、しかもユースポイントにおいて分岐配管から取り出す洗浄水への気泡の混入を防止することができるガス溶解洗浄水供給配管を提供する。【解決手段】純水に酸化性ガス又は還元性ガスを溶解した洗浄水を、酸化性ガス又は還元性ガスの共存下に移送する主配管に、主配管から洗浄水を取り出す分岐配管を下向きに取り付け、分岐配管に流量調整弁を取り付けてなることを特徴とするガス溶解洗浄水供給配管。

請求項（抜粋）：

純水に酸化性ガス又は還元性ガスを溶解した洗浄水を、酸化性ガス又は還元性ガスの共存下に移送する主配管に、主配管から洗浄水を取り出す分岐配管を下向きに取り付け、分岐配管に流量調整弁を取り付けてなることを特徴とするガス溶解洗浄水供給配管。

IPC (5件)：

B08B 9/06 , B08B 3/08 , C11D 7/00 , H01L 21/304 647 , H01L 21/304 648

FI (5件)：

B08B 9/06 , B08B 3/08 Z , C11D 7/00 , H01L 21/304 647 Z , H01L 21/304 648 K

引用特許：

審査官引用 (14件)

電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-237294 出願人：オルガノ株式会社, 株式会社フロンテック
特開昭63-069588
特開平1-241824

全件表示

前のページに戻る