特許
J-GLOBAL ID：200903071896473310
液晶パネル製造用の基板貼り合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060668
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258746
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 液晶パネル製造の際に1対の基板をこれらの位置合わせを高精度に行いつつ貼り合わせる装置を提供する。【解決手段】 表面側に位置合わせマークを有する駆動基板15と対向基板16とを、定盤8,6により表面どうしが対向するように保持する。定盤8,6には、基板15,16の位置合わせマークを基板裏面側から撮像するカメラ11,12が付設されている。定盤6はモータ4によりX方向に駆動されるX軸ガイドブロック2に対しモーター7によりZ方向を中心として回動駆動され、定盤8は昇降機構18に対してY方向に駆動される。カメラ11,12により撮像された画像から検知した2つの位置合わせマークの相対的位置ずれ値に基づき、基板15,16の基板面内の位置ずれを解消すべく定盤8,6の基板面内の相対位置関係を変化させ、昇降機構18により定盤8,6を互いに接近させて基板15,16を貼り合わせる。
請求項（抜粋）：
液晶パネルを構成し且つ表面側に第1位置合わせマークを有する第1基板と表面側に第2位置合わせマークを有する第2基板とを、互いに表面どうしが対向するように平行に配置し該表面どうしの間に間隔を維持し、基板面内方向に関して位置決めして、貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記第1基板の裏面側に当接しこれを保持する第1定盤と前記第2基板の裏面側に当接しこれを保持する第2定盤とが対向配置されており、前記第1定盤には前記第1位置合わせマークを前記第1基板の裏面側から撮像する第1カメラが付設されており、前記第2定盤には前記第2位置合わせマークを前記第2基板の裏面側から撮像する第2カメラが付設されており、前記第1定盤及び前記第2定盤うちの少なくとも一方を移動させることによりこれら第1定盤と第2定盤との基板面内の相対位置関係を変化させるための第1の定盤移動機構と、前記第1定盤及び前記第2定盤のうちの少なくとも一方を移動させることによりこれら第1定盤と第2定盤との基板面と垂直の方向の相対位置関係を変化させるための第2の定盤移動機構とを備えており、前記第1カメラにより撮像された前記第1位置合わせマークの画像及び前記第2カメラにより撮像された前記第2位置合わせマークの画像に基づき前記第1位置合わせマークと前記第2位置合わせマークとの基板面内のマーク相対的位置ずれの値を検知する位置合わせマーク相対位置認識手段とを備えており、前記マーク相対的位置ずれの値に基づき、前記第1基板と第2基板との基板面内の位置ずれを解消すべく前記第1の定盤移動機構により前記第1定盤と第2定盤との基板面内の相対位置関係を変化させ、前記第2の定盤移動機構により前記第1定盤と第2定盤とを互いに接近させて前記第1基板と第2基板とをこれらの間に配置した接着剤により貼り合わせるようにしてなる、ことを特徴とする、液晶パネル製造用の基板貼り合わせ装置。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 505
G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 505
2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088HA06
, 2H088HA08
, 2H088MA20
, 2H089NA38
, 2H089NA60
, 2H089QA12
, 2H089TA07
, 2H089TA09
