角速度センサの自己診断方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045035
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236436
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】高度の信頼性を有する車両制御用の角速度センサの自己診断方法。【解決手段】直交座標系第2軸方向に、振動質量を振動駆動することにより機能を診断するか、または、振動質量に直交座標系第1軸方向の駆動振幅を可変とすることにより機能を診断するか、または、振動質量に直交座標系第3軸方向の力を印加し、振動質量の可動支持状態を診断する自己診断方法。

請求項（抜粋）：

振動質量と、前記振動質量を支持する支持部と、前記振動質量と静電的に結合した対向電極とを有し、前記振動質量を直交座標系の第1軸方向に駆動し、前記直交座標系の第3軸まわりの角速度が印加された場合に、前記直交座標系の第2軸方向に発生するコリオリ力を検出する角速度センサにおいて、前記直交座標系の第2軸軸方向に、前記振動質量を振動駆動することにより、前記角速度センサの機能診断を行なうことを特徴とする角速度センサの自己診断方法。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (7件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-227049 出願人：松下電器産業株式会社
特開平3-226620
内蔵試験回路を有する回転速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-165004 出願人：ニューエスディーインコーポレイテッド

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