特許
J-GLOBAL ID：200903071929717945
真空装置の異常放電抑制・消滅装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111837
公開番号（公開出願番号）：特開平8-302466
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：
【要約】【目的】 直流電圧とこれと逆極性のパルス電圧が重畳されて印加される真空装置における一時的な異常放電の場合でも、ミリ秒のオーダーの長時間に亘って電源回路を遮断することがなく、ほとんど無駄時間なしに真空装置のエッチング又はスパッタリングなどの動作を行う。【構成】 インバータ回路5と、その出力を整流する整流器7と、その出力を平滑するフィルタ11とを備える直流電源2にパルス電源3を介して接続され、直流電圧とこれと逆極性のパルス電圧が重畳されて印加される真空装置1であって、前記パルス電源3のパルスの立ち下がりでサンプルホールドした真空装置1の電極間電圧と、該パルスの立ち下がりから所定時間後にサンプルホールドした該電極間電圧を比較することにより異常放電を検出する制御手段としての制御回路13を備え、該制御回路13が異常放電を検出したときその出力する異常検出信号により前記インバータ回路5の出力を急速に絞るようにした。
請求項（抜粋）：
インバータ回路と、その出力を整流する整流器と、その出力を平滑するフィルタとを備える直流電源にパルス電源を介して接続され、直流電圧とこれと逆極性のパルス電圧が重畳されて印加される真空装置において、前記パルス電源のパルスの立ち下がりでサンプルホールドした前記真空装置の電極間電圧と、該パルスの立ち下がりから所定時間後にサンプルホールドした該電極間電圧とを比較することにより異常放電を検出する制御手段を備え、該制御手段が異常放電を検出したとき出力する異常検出信号により前記インバータ回路の出力を急速に絞るようにしたことを特徴とする真空装置の異常放電抑制・消滅装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/34 T
, C23F 4/00 A
