特許
J-GLOBAL ID：200903071988803936
窒化クロム層を有する基体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335418
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181824
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 窒化クロム層を、特にその硬度について、改良する。【解決手段】 窒化クロム層は、HV2700を上回る硬度を有し、PVD処理によって基板に施され、{200}方向に好ましい配向を有する面心立方結晶格子を備える。さらに、{111}面、{311}面、{220}面(Cu-Kα)に強度の弱いピークを有する。{200}信号2θのピークの半値全幅は、好ましくは2°を上回り、{200}線の格子パラメータは、好ましくは4.2Åを上回る。窒化クロム層は、イットリウム、スカンジウム、ランタンの少なくとも1つを0.01〜10at%含有し、それぞれの含有量は、好ましくは3〜5at%の範囲である。
請求項（抜粋）：
窒化クロム層が、{200}方向に好ましい配向を有する面心立方結晶格子を備え、かつHV2700を上回る硬度を有することを特徴とする窒化クロム層を有する基体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/06 A
, C01B 21/06 A
