微細位置決め装置および微細位置決め方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071791
公開番号（公開出願番号）：特開2001-265441
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【目的】大荷重の物品を、オングストロームのレベルの精度で極めて精密にかつ正確に変位させ位置決めするための装置および該微細位置決め装置を用いた微細位置決め方法を提供する。【構成】無摩擦で変位が可能な弾性変位テーブルと超磁歪アクチュエータとによって構成され、該超磁歪アクチュエータに設けられたロッドの変形によって前記弾性変位テーブルを変位させ位置決めを行なうことを特徴とする微細位置決め装置である。また、超磁歪アクチュエータに所定の電流を印加して該超磁歪アクチュエータに設けられたロッドを変形させ、弾性変位テーブルを微小変位せしめ、その位置を標準位置とし、印加する電流値を変化させることによって弾性変位テーブルを前記標準位置を中心に自在に微小変位させることを特徴とする微細位置決め方法である。

請求項（抜粋）：

無摩擦で変位が可能な弾性変位テーブルと超磁歪アクチュエータとによって構成され、該超磁歪アクチュエータに設けられたロッドの変形によって前記弾性変位テーブルを変位させ位置決めを行なうことを特徴とする微細位置決め装置。

IPC (4件)：

G05D 3/00 , B23Q 3/18 , B23Q 5/22 520 , H01L 41/12

FI (4件)：

G05D 3/00 G , B23Q 3/18 Z , B23Q 5/22 520 C , H01L 41/12

Fターム (15件)：

3C016HA00 , 3C016HB00 , 5H303AA01 , 5H303AA06 , 5H303BB02 , 5H303BB07 , 5H303CC01 , 5H303DD14 , 5H303FF04 , 5H303FF08 , 5H303GG11 , 5H303HH02 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303LL03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-193089
微動駆動装置及びそれを用いた情報記録及び/又は再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-330425 出願人：キヤノン株式会社
特開昭64-034631

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