加速センサ及び加速センサの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022429
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248058
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【課題】三層系を用いて加速センサと電気的リード導体を形成することにより低コスト化の実現と製造方法の簡単化を計ること。【解決手段】第3の層から導体路が引き出されて形成されており、前記導体路は接続点まで案内されており、前記導体路は第2の層によって第1の層から電気的に絶縁され、さらに切欠部によって第3の層から電気的に絶縁されるように構成する。

請求項（抜粋）：

3つの層(1,2,3)を有し、第1の層(1)は支持プレートとして構成され、該第1のプレート(1)上には絶縁された第2の層(2)が被着されており、該第2の層(2)上には第3の層(3)が被着されており、該第3の層(3)からは変位可能な質量体(7)が引き出されて形成されており、前記質量体(7)は作用する応力又は加速に基づいて変位可能である、加速センサ(6)において、第3の層(3)から導体路(4)が引き出されて形成されており、前記導体路(4)は接続点(20)まで案内されており、前記導体路(4)は第2の層(2)によって第1の層(1)から電気的に絶縁され、さらに切欠部(10)によって第3の層(3)から電気的に絶縁されていることを特徴とする加速センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/02 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/02 A , H01L 29/84 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-263013 出願人：株式会社村田製作所
特開平4-232875
集積型加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-333080 出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク

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