特許
J-GLOBAL ID:200903072047193539
加速センサ及び加速センサの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-022429
公開番号(公開出願番号):特開平8-248058
出願日: 1996年02月08日
公開日(公表日): 1996年09月27日
要約:
【要約】【課題】 三層系を用いて加速センサと電気的リード導体を形成することにより低コスト化の実現と製造方法の簡単化を計ること。【解決手段】 第3の層から導体路が引き出されて形成されており、前記導体路は接続点まで案内されており、前記導体路は第2の層によって第1の層から電気的に絶縁され、さらに切欠部によって第3の層から電気的に絶縁されるように構成する。
請求項(抜粋):
3つの層(1,2,3)を有し、第1の層(1)は支持プレートとして構成され、該第1のプレート(1)上には絶縁された第2の層(2)が被着されており、該第2の層(2)上には第3の層(3)が被着されており、該第3の層(3)からは変位可能な質量体(7)が引き出されて形成されており、前記質量体(7)は作用する応力又は加速に基づいて変位可能である、加速センサ(6)において、第3の層(3)から導体路(4)が引き出されて形成されており、前記導体路(4)は接続点(20)まで案内されており、前記導体路(4)は第2の層(2)によって第1の層(1)から電気的に絶縁され、さらに切欠部(10)によって第3の層(3)から電気的に絶縁されていることを特徴とする加速センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01P 15/02 A
, H01L 29/84 B
引用特許:
審査官引用 (9件)
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-263013
出願人:株式会社村田製作所
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特開平4-232875
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集積型加速度計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-333080
出願人:コミツサリアタレネルジーアトミーク
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力学量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-274530
出願人:日本電装株式会社
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光伝送路の故障検出方式
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-128318
出願人:住友電気工業株式会社, 住友電装株式会社
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特開平4-232875
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特開平4-115165
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-082552
出願人:シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
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磁気検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-148139
出願人:カシオ計算機株式会社
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