特許
J-GLOBAL ID：200903072049194486

オゾン吸脱着装置とその脱着濃度制御方法

発明者：
高橋 毅

高橋 毅 について

, 
高橋 亮二

高橋 亮二 について


出願人/特許権者：
石川島播磨重工業株式会社

石川島播磨重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-248188
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092107
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 高濃度オゾンをそのまま保管することなく、かつ希釈ガスを用いることなく、一定濃度のオゾンガスを一定流量で安定して脱着・供給することができるオゾン吸脱着装置とその脱着濃度制御方法を提供する。【解決手段】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器10と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器12と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン14と、オゾン吸着器の温度を制御する温度制御器18bと、オゾン吸着器の圧力を制御する圧力制御器18cと、オゾン濃度を制御するオゾン濃度制御装置19と、を備え、脱着オゾンが一定濃度かつ一定流量になるように、温度を上昇させ、及び/又は、圧力を低下させる。
請求項（抜粋）：
酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ラインと、オゾン吸着器の温度を制御する温度制御器と、オゾン吸着器の圧力を制御する圧力制御器と、オゾン濃度を制御するオゾン濃度制御装置と、を備え、オゾン濃度制御装置により、脱着オゾンが一定濃度かつ一定流量になるように温度及び/又は圧力を制御する、ことを特徴とするオゾン吸脱着装置。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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