特許
J-GLOBAL ID：200903072083039341
観察装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-163188
公開番号（公開出願番号）：特開2009-003134
出願日： 2007年06月20日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】 固浸レンズと観察対象物との密着性を向上させることができる観察装置及び方法を提供する。【解決手段】 半導体デバイス11の観察を行う場合、まず固浸レンズ6が半導体デバイス11に接触したことが検知されると、振動発生部により固浸レンズ6を振動させる。続いて、固浸レンズ6からの反射光像を入力し、反射光像の反射光量mを算出し、この反射光量mの入射光量nに対する比率(m/n)が閾値Aを越えていないかどうかを判断する。比率(m/n)が閾値Aを越えているときは、固浸レンズ6と半導体デバイス11との光学的密着が得られていないと判断され、再び固浸レンズ6を振動させる。比率(m/n)が閾値Aを越えていないときは、固浸レンズ6と半導体デバイス11との光学的密着が得られていると判断され、半導体デバイス11の観察画像を取得する。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
対物レンズを含む光学系を有し、観察対象物を拡大して観察する顕微鏡と、
前記対物レンズの光軸上に配置される固浸レンズを保持する固浸レンズホルダと、
前記固浸レンズホルダに保持された前記固浸レンズを振動させる振動発生手段とを備えることを特徴とする観察装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2H052AB02
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD20
, 2H052AD27
, 2H052AD29
, 2H052AD31
, 2H052AD37
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
出願人引用 (3件)
-
国際公開第2005/043210号パンフレット
-
プロセス観測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-142655
出願人：住友重機械工業株式会社
-
固浸レンズホルダ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-012103
出願人：浜松ホトニクス株式会社
審査官引用 (2件)
-
プロセス観測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-142655
出願人：住友重機械工業株式会社
-
固浸レンズホルダ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-012103
出願人：浜松ホトニクス株式会社
前のページに戻る
