特許

J-GLOBAL ID：200903072103051939

圧電/電歪膜型素子及び製造方法

発明者： 北川 睦 ,  木村 浩二
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-155798
公開番号（公開出願番号）：特開2005-012200
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】同一駆動電圧で、より大きな変位が得られ、応答速度がより速く、発生力がより大きい圧電/電歪膜型素子を提供すること。【解決手段】基体部と、基体部上に設けられ圧電/電歪膜と電極膜とで構成される作動部と、を備え、作動部の変位により作動する圧電/電歪膜型素子の提供による。この圧電/電歪膜型素子は、作動部が、その最上層及び最下層が電極膜になるように交互に積層された圧電/電歪膜と電極膜とを有し、且つ、作動部と基体部とは焼成により一体化され、基体部が、チタン元素を含有するセラミックスで構成されるという特徴を有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基体部と、前記基体部上に設けられ圧電/電歪膜と電極膜とで構成される作動部と、を備え、前記作動部の変位により作動する圧電/電歪膜型素子であって、 前記作動部が、その最上層及び最下層が前記電極膜になるように交互に積層された前記圧電/電歪膜と前記電極膜とを有し、且つ、前記作動部と前記基体部とは焼成により一体化され、 前記基体部が、チタン元素を含有するセラミックスで構成される圧電/電歪膜型素子。

IPC (6件)：

H01L41/083 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

FI (7件)：

H01L41/08 S ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A

Fターム (13件)：

2C057AF03 ,  2C057AF93 ,  2C057AG40 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057AG52 ,  2C057AG99 ,  2C057AP14 ,  2C057AP16 ,  2C057AP27 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電/電歪アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-087997   出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (1件)

• セラミック素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-246484   出願人：日本碍子株式会社