特許

J-GLOBAL ID：200903091667281556

セラミック素子

発明者： 武内 幸久 ,  七瀧 努 ,  木村 浩二 ,  高橋 正郎
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-246484
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152235
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】作動部上に変位伝達部材が載置、あるいは形成されていても、作動部に対するパルス電圧の印加時間の経過に伴って変位量が低下するということを抑制できるようにして、変位量の制御を精密に行うことを可能にする。【解決手段】形状保持層24と、該形状保持層24の上部に形成された上部電極26aと、形状保持層24の下部に形成された下部電極26bとを有するアクチュエータ部14と、セラミックスにて構成され、かつ、アクチュエータ部14を支持する振動部20と、セラミックスにて構成され、かつ、振動部20を振動可能に支持する固定部22とを有するセラミック素子10において、振動部20と接する下部電極26bが、電極材料に0.01wt%〜20wt%の添加物が含有されて構成されている。電極材料は、例えば白金を主成分とする材料であり、添加物としては例えば酸化ジルコニア、酸化セリウムや酸化チタンが好ましく使用される。

請求項（抜粋）：

圧電/電歪層や反強誘電体層にて構成された形状保持層に形成された少なくとも一対の電極を有する作動部と、セラミックスにて構成され、かつ、前記作動部を支持する振動部と、セラミックスにて構成され、かつ、前記振動部を振動可能に支持する固定部とを有し、前記振動部と、該振動部に接する電極と、前記形状保持層とが焼成によって一体化され、前記一対の電極のうち、少なくとも前記振動部に接する電極が、電極材料に微量の添加物が含有されて構成されていることを特徴とするセラミック素子。

IPC (2件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (4件)：

H01L 41/08 L ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電/電歪膜型素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037160   出願人：日本碍子株式会社
• 圧電素子、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-388315   出願人：日本碍子株式会社
• セラミック素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-356691   出願人：日本碍子株式会社
• 積層型圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-277434   出願人：株式会社日立製作所