特許
J-GLOBAL ID：200903072130451302
ウェーハのエッチング方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有吉 教晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-361770
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183026
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 多数のウェーハをそのいずれもが均一で高いエッチング速度でエッチングする。【解決手段】 エッチング液中において、複数のウェーハをその主面を垂直にして、その主面に垂直な方向に等間隔に配列し、これを回転させてエッチングするに際して、配列された個々のウェーハの回転方向を隣り合うウェーハについて逆方向となす。
請求項（抜粋）：
エッチング液中に複数のウェーハをその主面を垂直にして、その主面に垂直な方向に配列する工程と、配列された個々のウェーハの回転方向を隣り合うウェーハについて逆方向となしてエッチングする工程と、を含むことを特徴とするウェーハのエッチング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/306 J
, C23F 1/08
4K057WA04
, 4K057WB06
, 4K057WE02
, 4K057WE07
, 4K057WM01
, 4K057WM03
, 4K057WM11
, 4K057WM13
, 4K057WN01
, 5F043AA02
, 5F043BB02
, 5F043DD30
, 5F043EE04
, 5F043EE35
, 5F043EE36
, 5F043EE40
, 5F043FF07
, 5F043FF10
, 5F043GG10
