位置測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-243505
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078687
出願日： 2006年09月08日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】この発明は、二つの互いに相対的に動く物体の位置を検出するための位置測定装置に関する。【解決手段】この装置は、両物体の一方と接続された測定尺と、両物体の他方と接続された、測定尺を走査するための少なくとも一つの走査システムとを有する。この走査システムは、この走査システムによって、物体の少なくとも一つの横の移動方向と垂直の移動方向に沿っての位置数値を同時に求めることが可能であるように構成されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

二つの互いに相対的に動く物体の位置を検出するための位置測定装置であって、両物体の一方と接続された測定尺(10,3,30)と、両物体の他方と接続された、測定尺(10,3,30)を走査するための少なくとも一つの走査システム(20.1,20.2,20.3)であって、この走査システム(20.1,20.2,20.3)は、この走査システムによって、物体の少なくとも一つの横の移動方向(X,Y)と垂直の移動方向(Z)に沿った位置数値を同時に求めることが可能であるように構成されている走査システムと、を備えた位置測定装置。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 A

Fターム (19件)：

2F103BA41 , 2F103BA43 , 2F103CA01 , 2F103CA02 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA01 , 2F103EA15 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB03 , 2F103EB16 , 2F103EC03 , 2F103EC11 , 2F103EC14 , 2F103EC15 , 2F103ED11 , 2F103ED14

引用特許：

出願人引用 (5件)

欧州特許第1019669号明細書
欧州特許第448982号明細書
欧州特許公開第0163362号明細書

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審査官引用 (2件)

光電式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-143908 出願人：株式会社仙台ニコン, 株式会社ニコン
2つの対象物の位置を検出するための装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-514099 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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