インピーダンス測定装置の帰還ループ安定化方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上野英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-197200
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038936
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】測定対象の電流を吸収して測定電流を測定すると共に測定端子の電位を接地電位に制御する帰還ループを有する4端子対測定法のインピーダンス測定装置において、高周波で遠隔測定を行う場合、帰還ループが不安定又は測定不可能になることがある。また測定ケーブルにも制限がある。この解決に、特定の測定対象を接続して測定した帰還ループの位相特性から、該帰還ループが安定になる移相量を決定設定する提案が、特願平01-184223でなされている。該提案では、測定ケーブルに対する制約が残るか、測定時間の延長が必要であった。本発明の課題は、測定ケーブルの制約及び測定時間の延長をなくすことである。【解決手段】測定システム構築時に、3つの既知インピーダンスを順次接続して、帰還ループの位相特性を測定し、インピーダンス測定範囲全域にわたり安定な最適移相量を決定する。

請求項（抜粋）：

測定対象の第1の端子に測定電圧を印加する手段と、前記測定対象の第2の端子に流れる電流を吸収して、測定対象に流れる電流を測定すると共に前記第2の端子の電位をほぼ接地電位に制御する帰還ループとを有し、前記帰還ループの伝達特性の測定手段及び該帰還ループ内に設けられた可変移相手段を有するインピーダンス測定装置であって、複数の既知インピーダンスを順次測定端子に接続して、前記帰還ループの伝達特性を測定し、前記測定端子に接続される可能性のある測定対象のインピーダンス範囲の全域において前記帰還ループの安定を保つように、前記測定した伝達特性から、前記可変移相器の最適移相量を演算で求めて前記可変移相器を設定することを特徴とするインピーダンス測定装置の帰還ループ安定化方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-061863
特開昭62-191774
回路定数測定装置の校正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-352215 出願人：横河・ヒューレット・パッカード株式会社

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