めっき浴の振動流動とパルス状めっき電流との組み合わせを用いた電気めっき方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129994
公開番号（公開出願番号）：特開2002-121699
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】微細構造の導電パターンのめっき膜を欠陥や膜厚不均一性などがなく良好な品質で効率よく高速に形成できるめっき方法を提供する。【解決手段】振動発生手段16dに連係した振動羽根16fをめっき浴14内で振幅0.1〜10.0mm及び振動数200〜800回/分で振動させることによりめっき浴14に3次元流速150mm/秒以上の振動流動を発生させながら、めっき浴14中に配置された微細構造を持つ被めっき物品Xを陰極とし且つ金属部材56を陽極とし、陰極と陽極との間に電圧を印加し、この際に陽極からめっき浴14を介して陰極へと流れるめっき電流がパルス状で第1の値I1で第1の時間T1持続する第1状態及び第1の値と同一極性の第2の値I2で第2の時間T2持続する第2状態を交互にとり、第1の値I1は第2の値I2の5倍以上であり、第1の時間T1は第2の時間T2の3倍以上である。

請求項（抜粋）：

振動発生手段に連係してめっき浴内で振動する振動棒に一段または多段に固定された振動羽根を振動させることにより前記めっき浴に振動流動を発生させながら、前記めっき浴と接触するように配置された被めっき物品を陰極とし且つ前記めっき浴と接触するように配置された金属部材を陽極とし、前記陰極と前記陽極との間に電圧を印加し、この際に前記陽極から前記めっき浴を介して前記陰極へと流れるめっき電流がパルス状であり第1の値I1で第1の時間T1持続する第1状態及び前記第1の値と同一極性の第2の値I2で第2の時間T2持続する第2状態を交互にとり、前記第1の値I1は前記第2の値I2の5倍以上であり、前記第1の時間T1は前記第2の時間T2の3倍以上であることを特徴とする電気めっき方法。

IPC (8件)：

C25D 21/10 301 , C25D 5/18 , C25D 5/54 , C25D 7/00 , C25D 7/12 , C25D 17/16 , C25D 21/12 , H01L 21/288

FI (9件)：

C25D 21/10 301 , C25D 5/18 , C25D 5/54 , C25D 7/00 G , C25D 7/00 J , C25D 7/12 , C25D 17/16 A , C25D 21/12 K , H01L 21/288 E

Fターム (16件)：

4K024AA03 , 4K024AA07 , 4K024AA09 , 4K024BA11 , 4K024BA12 , 4K024BA15 , 4K024BB09 , 4K024BB11 , 4K024BB12 , 4K024BC08 , 4K024CA07 , 4K024CA15 , 4K024CB12 , 4K024GA16 , 4M104BB04 , 4M104DD52

引用特許：

審査官引用 (8件)

めっき方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-311374 出願人：日本テクノ株式会社
特開昭58-011792
電解めっき方法及び電解めっき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-299862 出願人：株式会社荏原製作所

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