特許
J-GLOBAL ID：200903072388169407
チャンバー内壁保護部材及びプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133559
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023002
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 長時間に亘り安定使用が可能なプラズマ処理装置のチャンバー内壁保護部材及び該保護部材を配置したプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 プラズマ処理装置のチャンバー内壁を保護する中空形状の保護部材であって、該保護部材はガラス状カーボン材から一体型構造に形成され、底部に内方へ延びる突出部を有する。ガラスカーボン材としては、体積比抵抗が1×10-2Ω・cm以下、熱伝導率が5W/ m・K以上の特性を有するものが好ましく、保護部材の厚さは4mm以上、その内面の平均面粗さ(Ra)は2.0μm 以下であることが好ましい。プラズマ処理装置は、上記チャンバー内壁保護部材をプラズマ処理装置のチャンバー内壁部に沿って配置し、チャンバー内壁部と保護部材とを電気的に導通するとともにチャンバーが接地されて構成される。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置のチャンバー内壁を保護する中空形状の保護部材であって、該保護部材はガラス状カーボン材から一体型構造に形成され、底部に内方へ延びる突出部を有することを特徴とするチャンバー内壁保護部材。
IPC (2件)：
H01L 21/3065
, C23C 16/44
C23C 16/44 B
, H01L 21/302 101 G
4K030FA03
, 4K030KA08
, 4K030KA46
, 5F004AA06
, 5F004AA14
, 5F004AA15
, 5F004BA04
, 5F004BA09
, 5F004BB22
, 5F004BB29
, 5F004BD03
, 5F004BD04
