特許
J-GLOBAL ID：200903072388401300
合焦点位置検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207403
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040491
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 ステージのステップ駆動に伴うステージの振動による影響を受けること無く短い計測時間で光学系の合焦点位置を求める。【解決手段】 光学系の光軸方向に移動可能なステージにより物体を該光学系の結像面を含む所定の範囲の一方から他方へ移動し、該移動期間中に該光学系を介して観察される前記物体の像を撮像素子により複数回撮像し、得られたステージ位置の異なる複数の画像より該光学系の合焦点位置を求める。
請求項（抜粋）：
光学系の光軸方向に移動可能なステージにより物体を該光学系の結像面を含む所定の範囲の一方から他方へ移動し、該移動期間中に該光学系を介して観察される前記物体の像を撮像素子により複数回撮像し、得られたステージ位置の異なる複数の画像より該光学系の合焦点位置を求めることを特徴とする合焦点位置検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 526 A
, G01B 11/00 H
