圧電ダイヤフラムポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：板谷康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-018967
公開番号（公開出願番号）：特開2006-207436
出願日： 2005年01月26日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】圧電ダイヤフラムポンプにおいて、被駆動ユニットを交換可能とし、駆動ダイヤフラムの振動を効率良く被駆動ユニットに伝達することができるようにする。【解決手段】圧電ダイヤフラムポンプPは、駆動ユニット1と、被駆動ユニット2と、固定ユニット3とを備え、被駆動ユニット2は、駆動ダイヤフラム12からの駆動が伝達される従動膜24aを備え、この従動膜24aを上に凸形状に形成したことにより、従動膜24aは、その中央部から駆動ダイヤフラム12に接触するので、確実な接触と、高い伝達効率が得られ、高速の駆動にも追従する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電素子を用いた圧電ダイヤフラムポンプにおいて、前記圧電素子と、この圧電素子の変形に応じて弾性変形されるダイヤフラム板とを有する駆動ダイヤフラムと、この駆動ダイヤフラムを支持する支持筐体とにより構成される駆動ユニットと、前記駆動ユニットにより駆動される被駆動ユニットと、前記被駆動ユニットを前記駆動ユニットに取り外し自在に固定する固定ユニットとを備え、前記被駆動ユニットは、前記駆動ダイヤフラムからの振動が伝達される従動膜部と、この従動膜部を固定する固定部と、この固定部と前記従動膜部とにより形成される内部空間に対して、流体を吸入及び吐出するために開閉動作をする弁と、この弁と連通し流体の吸入及び吐出を導く管路とを備え、前記従動膜部が前記駆動ダイヤフラム側に凸の形状であることを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプ。

IPC (2件)：

F04B 43/04 , F04B 9/00

FI (2件)：

F04B43/04 B , F04B9/00 B

Fターム (26件)：

3H075AA00 , 3H075BB04 , 3H075BB21 , 3H075CC32 , 3H075CC33 , 3H075CC34 , 3H075CC36 , 3H075CC37 , 3H075DA01 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 3H077AA00 , 3H077BB00 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE02 , 3H077EE15 , 3H077EE34 , 3H077EE35 , 3H077EE36 , 3H077EE37 , 3H077FF01 , 3H077FF06 , 3H077FF22 , 3H077FF36

引用特許：

出願人引用 (4件)

実用新案登録第02542620号公報
実用新案登録第2542620号公報
給液装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-170971 出願人：株式会社三鈴エリー

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審査官引用 (3件)

特開平3-001876
圧電ダイヤフラム型ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-149788 出願人：松下電工株式会社
特開平3-001876

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