特許

J-GLOBAL ID：200903072422539480

接合方法及びスパッタリングターゲットの製造方法

発明者： 安江 洋一 ,  栗山 和也
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 西森 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115800
公開番号（公開出願番号）：特開2000-301324
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】 大形化したバッキングプレートとターゲット部材との接合を、高品質で、かつ高能率に行うことが可能なスパッタリングターゲットの製造方法を提供する。【解決手段】 バッキングプレート2とターゲット部材1との間に、スペーサとして銅ワイヤ3を配置し、各接合面と銅ワイヤ3との間に、帯状に延びる流路7を区画、形成する。このとき流路7は、流入口7aが下側に、流出口7bが上側に位置するように傾斜させておく。流路7内を排気すると共に、溶融インジウム4に大気圧を作用させ、この差圧によって流路7内に溶融インジウム4を流し込む。

請求項（抜粋）：

一対の被接合部材の接合面を間隔を隔てて相対向させて配置することにより両者間に溶融ボンディング材を注入するための流路を形成し、一対の被接合部材を加熱すると共に、この流路内に、溶融状態のボンディング材を圧力差を利用して流し込んだ後、凝固させることを特徴とする接合方法。

IPC (6件)：

B23K 1/00 330 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285 ,  B23K101:36 ,  B23K103:18

FI (4件)：

B23K 1/00 330 Z ,  C23C 14/34 C ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S

Fターム (8件)：

4K029CA05 ,  4K029DC22 ,  4M104DD40 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD28 ,  5F103DD30 ,  5F103RR10

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 特開昭55-022454
  
• ガラスろう付用加熱炉
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-331724   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭63-111695
  
• ろう付け方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-199961   出願人：電気興業株式会社
• スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-313042   出願人：東ソー株式会社
• 特開昭55-022454
  
• 特開昭63-111695