質量分析装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066022
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260384
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】イオンの極性や、質量数,エネルギーによらず、高感度かつ高効率に検出する質量分析装置を提供する。【解決手段】変換電極6に入射するイオンビームの入射方向と、二次電子出射口63の中心64とシンチレータ71の中心73とを結ぶ線75とが、鋭角をなすように、イオンビーム輸送部5,変換電極6および二次電子検出系7は設置されている。すなわち、イオン輸送部5の端部52と二次電子出射口63の中心軸64との間にシンチレータ71の中心軸74がある。二次電子出射口63はイオン輸送部5とシンチレータ71の間の電界から離れているので、二次電子が偏向されることなくシンチレータ71まで到達する。

請求項（抜粋）：

イオンの質量を分析する質量分析手段と、前記質量分析手段で質量分析されたイオンビームを輸送するイオンビーム輸送手段と、前記イオンビーム輸送手段で輸送されたイオンビームが衝突すると二次電子を発生する変換電極と、前記変換電極に衝突させて発生した前記二次電子を検出する二次電子検出手段を備えた質量分析装置において、前記イオンビーム輸送手段から前記変換電極に入射するイオンビームの入射方向と、二次電子が前記二次電子検出手段に入射する二次電子入射口の中心と二次電子が前記変換電極から出射する二次電子出射口の中心とを結ぶ線とが、鋭角をなすことを特徴とする質量分析装置。

Fターム (2件)：

5C038FF04 , 5C038FF10

引用特許：

出願人引用 (4件)

特公昭45-014710
分析装置及び高圧電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-311960 出願人：日本電子株式会社
イオン検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-073578 出願人：株式会社島津製作所

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審査官引用 (5件)

特公昭45-014710
特公昭45-014710
分析装置及び高圧電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-311960 出願人：日本電子株式会社

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