特許
J-GLOBAL ID:200903072478092276

光スイッチおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-295037
公開番号(公開出願番号):特開2000-121967
出願日: 1998年10月16日
公開日(公表日): 2000年04月28日
要約:
【要約】【課題】 空間的に光路をスイッチングする光スイッチおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1に座ぐり部12を形成し、フレクチュア部21を介して基板1に結合される可動板2を座ぐり部12に形成し、可動板2の上面にミラー3を形成した光スイッチ。
請求項(抜粋):
基板に座ぐり部を形成し、フレクチュア部を介して基板に結合される可動板を座ぐり部に形成し、可動板の上面にミラーを形成したことを特徴とする光スイッチ。
Fターム (4件):
2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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