特許
J-GLOBAL ID：200903072510519481

非化学増幅ポジ型レジスト組成物

発明者：
吉田 昌史

吉田 昌史 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-002992
公開番号（公開出願番号）：特開2009-163174
出願日： 2008年01月10日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】保存安定性に優れた非化学増幅ポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、感光剤(B)、スクシンイミド化合物(C)および式(I)で表される化合物(D)を含有する非化学増幅ポジ型レジスト組成物。(式(I)中、R1は-N(R6)R7又はアリール基を表し、R1が-N(R6)R7の場合、R2〜R7の少なくともいずれか一つは、-CH2OR8を表し、R1がアリールの場合、R2〜R5の少なくともいずれか一つは、-CH2OR8を表す。R2〜R7は、それぞれ独立に、水素原子又は-CH2OR8を表し、R8は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂(A)、感光剤(B)、スクシンイミド化合物(C)および式(I)で表される化合物(D)を含有する非化学増幅ポジ型レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/023 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/023 511 ,  H01L21/30 502R
Fターム (9件)：
2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB29 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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