特許
J-GLOBAL ID：200903072510664023
微細構造素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-239576
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082939
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 自己組織化的なエッチングと微粒子の持つ良好なサイズ均一性により、動作特性の揃った高機能かつ高集積可能な微細構造素子を簡単なプロセスで製造する。【解決手段】 半導体等の結晶表面に異種材料を吸着させた場合に現れる特徴的な2次元パターンとそれによる表面反応違いを利用して選択エッチングを行う。さらにそのエッチングによりサイズを制御して形成した微小な凹部に粒径を揃えた微粒子を整列させることにより微小構造素子を作製する。
請求項（抜粋）：
凹部を有する基板とこの凹部に設けられた微粒子とを具備することを特徴とする微細構造素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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