特許
J-GLOBAL ID：200903031390640518

液化ガスの制御配給システム及び方法

発明者：
ベンジャミン・ジュアシック

ベンジャミン・ジュアシック について

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リチャード・ユーディシャス

リチャード・ユーディシャス について

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ホァ - チ・ワン

ホァ - チ・ワン について


出願人/特許権者：
レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321696
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277380
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】高い流速でガスキャビネットから液化ガスを制御配給することを可能とする。半導体プロセスツールにガスを配給するのに特に有用である装置および方法を提供する。【解決手段】液体状態からガスを配給する新規なシステムおよび方法を提供する。このシステムは、(a)ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと,(b)ガスシリンダーが収容されるガスシリンダーキャビネットと,(c)環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を,ガスシリンダー中の液体温度が環境温度を越えて増えることなく、増加する手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する手段と、を備えたシステム。
IPC (6件)：
B01J 4/00 102 ,  C23C 16/44 ,  F25J 5/00 ,  G05D 23/19 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501
FI (7件)：
B01J 4/00 102 ,  C23C 16/44 C ,  C23C 16/44 D ,  F25J 5/00 ,  G05D 23/19 J ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 S
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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