特許
J-GLOBAL ID:200903072512978122

蛍光X線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉本 修司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-236861
公開番号(公開出願番号):特開2002-048737
出願日: 2000年08月04日
公開日(公表日): 2002年02月15日
要約:
【要約】【課題】 波長分散型で走査型の蛍光X線分析装置において、登録したバックグラウンドの測定角度位置等の分析条件が、分析対象の試料に適切か否かの検証を容易にできる装置を提供する。【解決手段】 任意の試料1について得られた2θスキャンのピークプロファイルに、その試料1について得られたバックグラウンド推定強度とその推定のもととなった登録されているバックグラウンドの測定角度位置を重ねて表示する。
請求項(抜粋):
試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する2次X線を分光する分光素子と、その分光素子で分光された2次X線が入射され、2次X線のエネルギーに応じた電圧のパルスを強度に応じた数だけ発生する検出器と、その検出器で発生したパルスのうち所定の電圧の範囲のものを選別する波高分析器と、前記分光素子で分光される2次X線の波長を変えながら、その分光された2次X線が前記検出器に入射するように、前記分光素子と検出器を連動させる連動手段と、その連動手段におけるバックグラウンドの測定角度位置およびその測定角度位置を用いるバックグラウンドの強度推定式を分析条件の一部として登録する登録手段とを備えた蛍光X線分析装置において、前記登録手段に登録されたバックグラウンドの測定角度位置および強度推定式に基づいて任意の試料について得られたバックグラウンド推定強度、ならびに、前記登録されたバックグラウンドの測定角度位置を、その試料について前記連動手段の連動によりピーク角度の前後を走査して得られたピークプロファイルと重ねて、表示器に表示させる表示制御手段を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
Fターム (21件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA01 ,  2G001EA03 ,  2G001EA20 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001FA09 ,  2G001FA25 ,  2G001FA30 ,  2G001GA01 ,  2G001GA09 ,  2G001GA13 ,  2G001JA05 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 蛍光X線分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-264810   出願人:理学電機工業株式会社
  • 分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-132159   出願人:株式会社島津製作所
審査官引用 (2件)
  • 蛍光X線分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-264810   出願人:理学電機工業株式会社
  • 分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-132159   出願人:株式会社島津製作所

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