特許
J-GLOBAL ID：200903072516086692

反射屈折型の投影光学系、露光装置、および露光方法

発明者：
大村 泰弘

大村 泰弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-128154
公開番号（公開出願番号）：特開2004-333761
出願日： 2003年05月06日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】色収差や像面湾曲などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、光学面での反射損失を良好に抑えて大きな実効的な像側開口数を確保することのできる比較的小型の投影光学系。【解決手段】第1面(R)の縮小像を第2面(W)上に形成する反射屈折型の投影光学系。少なくとも2枚の反射鏡(CM1,CM2)と、第1面側の面が正の屈折力を有する境界レンズ(Lb)とを含み、境界レンズと第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する媒質(Lm)で満たされている。投影光学系を構成するすべての透過部材および屈折力を有するすべての反射部材は単一の光軸(AX)に沿って配置され、光軸を含まない所定形状の有効結像領域を有する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折型の投影光学系において、 前記投影光学系は、少なくとも2枚の反射鏡と、第1面側の面が正の屈折力を有する境界レンズとを含み、 前記投影光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記境界レンズと前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する媒質で満たされ、 前記投影光学系を構成するすべての透過部材および屈折力を有するすべての反射部材は単一の光軸に沿って配置され、 前記投影光学系は、前記光軸を含まない所定形状の有効結像領域を有することを特徴とする投影光学系。
IPC (6件)：
G02B17/08 ,  G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B13/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (7件)：
G02B17/08 A ,  G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B13/24 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517
Fターム (13件)：
2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087PA15 ,  2H087PB20 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087TA01 ,  2H087TA04 ,  2H087UA03 ,  5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12
引用特許：
審査官引用 (3件)

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