特許

J-GLOBAL ID：200903072522479388

感光性耐熱性樹脂組成物

発明者： 上田 充 ,  溝口 勝久 ,  池田 章彦
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (3件)： 鳴井 義夫 ,  武井 英夫 ,  松井 佳章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-134960
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282344
出願日： 2008年05月23日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

【課題】ガラス転移温度等耐熱性、並びに現像性、感度、及び解像度といった感光性に優れた効果を有する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)ポリエーテルスルホン100質量部に対して、(B)酸触媒の存在下、架橋反応を起こすCH2OR基(ここで、Rは炭素数1〜4のアルキル基を示す。)を有する架橋剤2〜40質量部、(C)ナフタレン核またはアントラセン核を有する光酸発生剤2〜20質量部、および(D)溶媒100〜4000質量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(I)で示されるポリエーテルスルホン100質量部に対して、(B)酸触媒の存在下、架橋反応を起こすCH2OR基(ここで、Rは炭素数1〜4のアルキル基を示す。)を有する架橋剤2〜40質量部、(C)ナフタレン核またはアントラセン核を有する光酸発生剤2〜20質量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/038 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R

Fターム (10件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB19 ,  2H025FA15

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性ポリイミド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-125884   出願人：三井化学株式会社
• ポリイミド、その製造法および感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-236385   出願人：日本メクトロン株式会社
• 感光性樹脂組成物およびネガ型パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-006856   出願人：京セラケミカル株式会社
• プリント配線板用レジスト材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-308726   出願人：日本特殊陶業株式会社