位置検出方法及び位置検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159234
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335241
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】検出光学系の光軸方向に互いに距離をもって配置された2つの物体の位置合わせを、画像処理法で高精度に相対位置検出が可能な位置検出方法及び装置、及びそれを用いた半導体素子の製造方法を提供すること。【解決手段】第1物体であるマスクと第2物体であるウエハの相対位置検出を行なう際、それぞれの物体上に配置された位置検出マークに対し、別個の基準位置合わせマークを設けた第3の物体を設け、該第3の物体上にある基準位置合わせマークと前記第1及び第2の物体上の位置検出マークの光学像を撮像素子により検出し、前記第1及び第2の物体の位置ずれを検出することを特徴とする位置合わせ方法及び装置。

請求項（抜粋）：

第1物体と第2物体の相対位置検出を行なう位置検出装置において、該第1及び第2の物体上に配置された位置検出マークに対し、別個の基準位置合わせマークを設けた第3の物体を設け、該第3の物体上にある基準位置合わせマークを用いてそれぞれのマークを光学像を撮像素子により検出することを特徴とする位置検出装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 525 D , H01L 21/30 525 W

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-102019
マスクとワークとの位置合わせ装置およびそれを使用した位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-195604 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平1-135020

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